一种酸碱化学供应系统用机台技术方案

本实用新型专利技术公开了一种酸碱化学供应系统用机台，包括机台本体，机台本体前方设置有人机画面和控制按钮，机台前方设置有桶槽区，机台本体后方设置管路区，机台本体的左侧设置有便于电控设备安装的电控区，电控区左侧设置有取样区述机台本体的底部设置有泄露侦测器。通过上述方式，本实用新型专利技术布局错落有致，美观大方，桶槽区设置开关门，供更换桶槽和维修用，管路区设置开关门，供安装管路和维修用，比较容易操作。本实用新型专利技术拆卸方便，在机台本体的下方设置有防漏盘，以防机台药液渗漏，产生污染或者危害操作工人。

A machine table for acid and alkali chemical supply system

The utility model discloses a machine table for acid and alkali chemical supply system, including a machine platform body, a man-machine picture and a control button in front of the platform body, a bucket slot in front of the machine platform, a pipeline area in the rear of the machine body, and an electronic control area for the installation of electronic control equipment on the left side of the main body of the machine, and the left side of the electronic control area. A leak detector is arranged at the bottom of the machine body body with a sampling area. Through the above method, the layout of the utility model is wrong, beautiful and generous, and the bucket slot area is set to open the door for replacement of bucket and maintenance, and the pipeline area is set to open the door for installation of pipeline and maintenance, which is easy to operate. The utility model has the advantages of convenient disassembly, and a leakproof disk is arranged below the machine body, so as to prevent the leakage of the machine platform liquid, cause pollution or harm the operator.

【技术实现步骤摘要】
一种酸碱化学供应系统用机台
本技术涉及化学品供应系统领域，特别是涉及一种酸碱化学供应系统用机台。
技术介绍
随着我国半导体行业的继续发展,芯片生产线在我国也已开始越来越规模化，其目的是实现对芯片上的杂质、微粒子进行清洗等。而作为半导体制程前端化学品供应系统，将储存槽内的原液通过机台内的过滤器过滤后输送至制成机台，涉及到多种危险化学品输送和应用，此类酸碱类化学品都具有高危害性，强腐蚀性。但是现有的化学品供应系统，不能有效保障输送过程中的安全，不能自动控制原液的输送，且没有设置防漏措施，容易造成泄露却没有侦测报警，造成污染和伤害。
技术实现思路
本技术主要解决的技术问题是提供一种酸碱化学供应系统用机台，布局错落有致，美观大方，管路区设置开关门，供安装管路和维修用，比较容易操作。机台整体拆卸方便，在机台本体的底部设置有泄露侦测器，以防机台内漏液，产生污染或者危害操作工人。为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种酸碱化学供应系统用机台，包括机台本体，所述机台本体通过方钢焊接而成，机台本体外安装有板材，板材采用PP磁白板焊接而成；所述机台本体前部设置有安放原液桶的桶槽区，机台本体上位于桶槽区上方设置有过滤通风装置；所述机台本体后方设置有管路区，机台本体背面对应管路区的位置设置有管路区开关门，管路区开关门上设有管路区初效过滤器；所述机台左侧设置有电控设备安装的电控区，电控区左侧设置有取样区；所述机台本体的底部设置有泄露侦测器；所述机台本体的正面设置有人机界面和控制按钮。进一步，所述机台本体左侧面设置有电控区开关门和取样区开关门。进一步，所述机台本体左侧面与取样区相对应位置设置有取样阀和取样窗口。进一步，所述机台本体的正面设置有与桶槽区相对的前门，前门上设置有前视窗和前门初效过滤器。进一步，所述机台本体的上面设置有三色报警灯。进一步，所述机台本体下方设置有活动托架，所述活动托架的下端设置有滚轮。本技术的有益效果是：本技术布局错落有致，美观大方，管路区设置开关门，供安装管路和维修用，比较容易操作。机台整体拆卸方便，在机台本体的底部设置有泄露侦测器，以防机台内漏液，产生污染或者危害操作工人。附图说明图1是本技术一种酸碱化学供应系统用机台一较佳实施例的立体结构示意图；图2是所示一种酸碱化学供应系统用机台的主视结构示意图；图3是所示一种酸碱化学供应系统用机台的侧视结构示意图；图4是所示一种酸碱化学供应系统用机台的后视结构示意图。附图中各部件的标记如下：1、机台本体；2、通风装置；3、前门；4、电控区开关门；5、取样区开关门；6、后门。具体实施方式下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。请参阅图1至图4，本技术实施例包括：一种酸碱化学供应系统用机台，包括机台本体1，所述机台本体1左前部设置有安放原液桶的桶槽区，桶槽区后方设置有管路区，桶槽区上方设置有过滤通风装置2，机台本体1左侧设置有便于电控设备安装的电控区和便于取样的取样区，电控区位于取样区左侧，本体左侧面设置有电控区开关门4和取样区开关门5，机台本体管路区的底部设置防漏盘。机台本体采用40*40mm的方钢焊接而成，机台板材采用PP磁白板焊接而成。桶槽与管路区相互独立，电控区与管路区相互独立，便于安装、维修及防止酸气泄露进电控区。机台本体设置有与桶槽区相对应的前门3，前门3上设置有视窗和初效过滤器，机台本体设置有与管路区相对应的后门6，后门6上设置初效过滤器。机台本体的下方设置有活动托架，活动托架采用板材焊接而成，工艺简单，底部四角采用角钢与架子焊接，节约了很多加工时所用的时间，方便于拆卸机台，也方便于阀箱的安装，所述活动托架的下端设置有滚轮180°。本技术布局错落有致，美观大方，管路区设置开关门，供安装管路和维修用，比较容易操作。本技术拆卸方便，在机台本体的底部设置有泄露侦测器，以防机台药液渗漏，产生污染或者危害操作工人。以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构，或直接或间接运用在其他相关的
，均同理包括在本技术的专利保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种酸碱化学供应系统用机台，包括机台本体，其特征在于：所述机台本体通过方钢焊接而成，机台本体外安装有板材，板材采用PP 磁白板焊接而成；所述机台本体前部设置有安放原液桶的桶槽区，机台本体上位于桶槽区上方设置有过滤通风装置；所述机台本体后方设置有管路区，机台本体背面对应管路区的位置设置有管路区开关门，管路区开关门上设有管路区初效过滤器；所述机台左侧设置有电控设备安装的电控区，电控区左侧设置有取样区；所述机台本体的底部设置有泄露侦测器；所述机台本体的正面设置有人机界面和控制按钮。

【技术特征摘要】
1.一种酸碱化学供应系统用机台，包括机台本体，其特征在于：所述机台本体通过方钢焊接而成，机台本体外安装有板材，板材采用PP磁白板焊接而成；所述机台本体前部设置有安放原液桶的桶槽区，机台本体上位于桶槽区上方设置有过滤通风装置；所述机台本体后方设置有管路区，机台本体背面对应管路区的位置设置有管路区开关门，管路区开关门上设有管路区初效过滤器；所述机台左侧设置有电控设备安装的电控区，电控区左侧设置有取样区；所述机台本体的底部设置有泄露侦测器；所述机台本体的正面设置有人机界面和控制按钮。2.根据权利要求1所述的一种酸碱化学供应系统用机台，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢信弘，
申请(专利权)人：昆山羚羊机电安装有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32