加热板及其制造方法与制造装置、使用该加热板的热流通量传感器的制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供加热板及其制造方法与制造装置、使用该加热板的热流通量传感器的制造装置。加热板(20)具备通电后发热的片状发热部件(200)、设置于片状发热部件的一个主面(201)侧并保护片状发热部件的保护膜(23)、设置于保护膜的与片状发热部件相反一侧的面(231)的输出电路部(25)、以及设置在保护膜与片状发热部件之间的突出部形成膜(26)。输出电路部具有突出部(251)，该突出部形成为能够与作为检查对象的热流通量传感器所具有的端子抵接。突出部形成膜在与突出部对应的位置具有突起(261)。片状发热部件、保护膜、输出电路部以及突出部形成膜一体地形成。

Heating plate and manufacturing method and manufacturing device thereof, and manufacturing device of heat flux sensor using the heating plate

The invention provides a heating plate, a manufacturing method and a manufacturing device thereof, and a manufacturing device for the heat flux sensor using the heating plate. The heating plate (20) has a flake heating unit (200) heated after electricity, a main surface (201) set on a flake heating part (201) and a protective film (23) to protect the flake heating part (23), an output circuit part (25) set on the surface (231) of the protective film and the opposite side of the flake heating part (231), and the protection film and the flake like heating unit. A membrane (26) is formed between the protruding parts of the between. The output circuit part has a protruding part (251), and the protruding part is formed to be able to be connected with the terminals provided by the heat flux sensor as the inspecting object. The forming film of the protrusion has a protuberance (261) in the position corresponding to the protruding part. The flake heating part, the protective film, the output circuit part and the forming part of the protruding part are formed integrally.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】加热板及其制造方法与制造装置、使用该加热板的热流通量传感器的制造装置
本专利技术涉及加热具有多个能够输出信号的端子的片状检查对象并且能够将端子输出的信号向外部输出的加热板及其制造方法与制造装置、使用该加热板的热流通量传感器的制造装置。
技术介绍
以往，公知有测定在单位时间内从一侧朝另一侧横切单位面积的热量即热流通量的热流通量传感器。例如日本特许文献1记载了一种热流通量传感器，其具备设有多个通孔的平板的基板、和经由形成于通孔的导电层电连接于该基板的两个主面的每一面并将根据从基板的从一侧朝另一侧流动的热量的大小而产生的电压向外部输出的输出电路部。日本特许文献1：日本特开2007-208262号公报日本特许文献1记载的热流通量传感器在构成基板的聚酰亚胺等的软质薄膜与由阻焊剂等构成的绝缘层层叠的平板状的部件上设置有输出热流通量传感器的信号的多个输出电路部。因此，在制造日本特许文献1记载的热流通量传感器的过程中检查热流通量传感器的特性的情况下，需要使规定大小的热流从该热流通量传感器的一侧流向另一侧并且高精度测定多个输出电路部输出的各个电压。在使规定的热量流向热流通量传感器的情况下，在热流通量传感器的一侧设置加热用加热器，在热流通量传感器的另一侧设置冷却部。由此，形成从热流通量传感器的一侧朝另一侧流动的热流。此时，根据夹在加热用加热器与冷却部之间的热流通量传感器输出的电压与流动的热量的大小的关系，检查该热流通量传感器的特性。在热流通量传感器中流动的热量的大小可根据向该加热用加热器供给的电力来计算，但从加热用的加热器的角度看，加热用加热器产生的热不仅朝冷却部的方向扩散还向四方扩散。因此，很难高精度确定在热流通量传感器中实际通过的热量的大小。因此，考虑尽可能减薄加热用加热器使其成为片状从而能够忽略除了从加热用加热器来看朝冷却部的方向和与冷却部相反一侧的方向以外的方向的热量扩散，检查热流通量传感器的特性。此时，在从加热用加热器来看与冷却部相反一侧，为了提高加热用加热器与热流通量传感器的紧贴性并确保隔热，而设置由弹性材料形成的支承台。然而，检查热流通量传感器的特性时若向输出电路部按压外部的检查用探测器，则支承台因该按压的力弯曲，在加热用加热器与热流通量传感器之间形成间隙。因此，存在无法使加热用加热器与热流通量传感器充分紧贴之虞。另外，如日本特许文献1记载的热流通量传感器那样，在一张基板上设置有多个输出电路部的情况下，将多个检查用探测器按压于多个输出电路部，所以弯曲进一步变大，加热用加热器与热流通量传感器的紧贴性更加恶化。因此，无法高精度确定在热流通量传感器中流动的热量而使检查精度恶化。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述问题而完成的，其目的是提供以使规定的热量向具有能够输出信号的端子的检查对象流动的方式高精度加热检查对象并且能够将该端子输出的信号可靠地向外部输出的加热板。本专利技术的加热板能够加热具有能够输出信号的端子的片状检查对象并且能够将端子输出的信号向外部装置或者外部电路输出，具备片状发热部件、保护膜、输出电路部、突出部形成膜。片状发热部件通电后会发热。保护膜设置于片状发热部件的一方的主面侧，保护片状发热部件。输出电路部具有设置于保护膜的与片状发热部件相反一侧的面并以能够与端子抵接的方式向与片状发热部件相反一侧的方向突出的突出部、和电连接于突出部并能够将输入至突出部的信号向外部输出的外部输出部。突出部形成膜设置在保护膜与片状发热部件之间，在与突出部对应的位置具有突起。片状发热部件、保护膜、输出电路部以及突出部形成膜一体地形成。本专利技术的加热板中，设置在保护膜与片状发热部件之间的突出部形成膜在与输出电路部所具有的突出部对应的位置具有突起。由此，与突起的位置对应的保护膜的部分和输出电路部的部分沿突起的形状向与片状发热部件相反一侧的方向突出，形成输出电路部的突出部。将该突起形成所希望的形状，从而能够将输出电路部的突出部形成所希望的形状，所以使加热板紧贴于检查对象从而能够将发热体所产生的热可靠地传递至检查对象，并且能够可靠地进行与检查对象所具有的端子的电连接。因此，本专利技术的加热板能够使规定的热量流向检查对象并且将端子输出的信号可靠地向外部输出。附图说明图1是本专利技术的一实施方式的热流通量传感器的检查装置的示意图。图2是作为本专利技术的一实施方式的热流通量传感器的检查装置的检查对象的热流通量传感器片的示意图。图3是利用本专利技术的一实施方式的热流通量传感器的检查装置检查的热流通量传感器的示意图。图4是图3的IV-IV线剖视图。图5是本专利技术的一实施方式的热流通量传感器的检查装置具备的加热板的示意图。图6是图5的VI-VI线剖视图。图7是使本专利技术的一实施方式的加热板和传感器片重叠的状态的示意图。图8是本专利技术的一实施方式的加热板的制造装置的示意图。图9是表示本专利技术的一实施方式的加热板的制造方法的流程图。图10A是说明本专利技术的一实施方式的加热板的制造方法的片状发热部件形成工序的示意图。图10B是说明本专利技术的一实施方式的加热板的制造方法的片状发热部件形成工序的其它示意图。图11是说明本专利技术的一实施方式的加热板的制造方法的层叠体形成工序的示意图。图12是说明本专利技术的一实施方式的加热板的制造方法的突出部形成工序的示意图。图13是说明本专利技术的其它实施方式的加热板的制造方法的示意图。具体实施方式以下，结合附图来说明本专利技术的实施方式。(一实施方式)结合图1～图12说明本专利技术的一实施方式的加热板、使用加热板的热流通量传感器的制造装置、加热板的制造方法以及加热板的制造装置。首先，结合图2～图4说明相当于“检查对象”的热流通量传感器。热流通量传感器10是能够检测在单位时间内横切单位面积的热量即热流通量的传感器。热流通量传感器10中，例如以电压的形式输出检测出的热流通量。如图4所示，热流通量传感器10由绝缘基板11、背面保护部件12、表面保护部件13、第一层间连接部件14、第二层间连接部件15等构成。在本实施方式中，如图2所示，在一张薄片(以下称为“传感器片8”)上统一形成有多个热流通量传感器10。相当于“热流通量传感器的制造装置”的热流通量传感器的检查装置1能够在制造热流通量传感器10的过程中同时测定形成于传感器片8的多个热流通量传感器10的特性。这里说明一个热流通量传感器10(图2的区域A10所含的热流通量传感器10)的结构，但图2所示的形成于传感器片8的多个热流通量传感器10分别具有相同的结构。此外，图4中为了便于理解热流通量传感器10的结构，纵横比与实际形状相比有所改变。绝缘基板11采用由热塑性树脂构成的薄膜形成。绝缘基板11具有沿厚度方向贯通的多个通孔111。通孔111中设置有第一层间连接部件14或者第二层间连接部件15。在设置有第一层间连接部件14的通孔111的旁边配置有用于设置第二层间连接部件15的通孔111。即第一层间连接部件14和第二层间连接部件15交替配置于绝缘基板11。背面保护部件12采用由热塑性树脂构成的薄膜形成，设置于绝缘基板11的背面112。背面保护部件12形成为与绝缘基板11大小相同。另外，在背面保护部件12的靠绝缘基板11侧的面121设置有将铜箔等刻画图案而成的多个背面图案114。背面图案114在背面保护部件12侧将第一层间连接部件1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热板，是能够加热具有能够输出信号的端子(141、151)的片状检查对象(10)并且能够将上述端子输出的信号向外部输出的加热板(20)，其中，具备：通电后发热的片状发热部件(200)；保护膜(23)，其设置于上述片状发热部件的一个主面(201)侧，保护上述片状发热部件；输出电路部(25)，其设置于上述保护膜的与上述片状发热部件相反一侧的面(231)，具有以能够与上述端子抵接的方式向与上述片状发热部件相反一侧的方向突出的突出部(251)、和与上述突出部电连接并能够将输入至上述突出部的信号向外部输出的外部输出部(253)；以及突出部形成膜(261)，其设置在上述保护膜与上述片状发热部件之间，在与上述突出部对应的位置具有突起(261)，上述片状发热部件、上述保护膜、上述输出电路部以及上述突出部形成膜形成为一体。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.11.30 JP 2015-2338401.一种加热板，是能够加热具有能够输出信号的端子(141、151)的片状检查对象(10)并且能够将上述端子输出的信号向外部输出的加热板(20)，其中，具备：通电后发热的片状发热部件(200)；保护膜(23)，其设置于上述片状发热部件的一个主面(201)侧，保护上述片状发热部件；输出电路部(25)，其设置于上述保护膜的与上述片状发热部件相反一侧的面(231)，具有以能够与上述端子抵接的方式向与上述片状发热部件相反一侧的方向突出的突出部(251)、和与上述突出部电连接并能够将输入至上述突出部的信号向外部输出的外部输出部(253)；以及突出部形成膜(261)，其设置在上述保护膜与上述片状发热部件之间，在与上述突出部对应的位置具有突起(261)，上述片状发热部件、上述保护膜、上述输出电路部以及上述突出部形成膜形成为一体。2.根据权利要求1所述的加热板，其中，规定温度下的上述突出部形成膜的流动性比上述规定温度下的上述保护膜的流动性高。3.根据权利要求1或2所述的加热板，其中，上述片状发热部件具备在一个平面上形成的长丝状的发热体(21)、和形成于上述发热体的相邻的部分之间的间隙并维持上述相邻的部分之间绝缘的绝缘部(22)。4.根据权利要求1～3中任一项所述的加热板，其中，上述突出部具有形成为平面状并能够与上述端子抵接的抵接面(355)。5.一种热流通量传感器的制造装置，具备：权利要求1～4中的任一项所记载的加热板，该加热板能够在上述突出部突出的一侧放置作为上述检查对象的热流通量传感器(10)；温度调节部(40)，该温度调节部设置于上述热流通量传感器的与上述加热板相反一侧，能够调节上述热流通量传感器的与上述加热板相反一侧的温度；温度检测部(45)，该温度检测部设置于上述加热板的与上述热流通量传感器相反一侧，检测上述加热板的与上述热流通量传感器相反一侧的温度，将基于该温度的信号向外部输出；温度控制部(50)，该温度控制部与上述加热板、上述温度检测部及上述温度调节部电连接，根据上述温度检测部输出的上述加热板的与上述热流通量传感器相反一侧的温度，控制供给至上述加热板的电力和上述温度调节部的动作；以及特性测定部(60)，该特性测定部与上述输出电路部电连接，根据上述输出电路部输出的信号测定上述热流通量传感器的特性。6.一种加热板的制造方法，该加热板(20)能够加热具有能够输出信号的端子(141、151)的片状检查对象(10)并且能够将上述端子输出的信号向外部输出，其中，包含如下工序：层叠体形成工序，在该工序中，将通电后发热的片状发热部件(200)、在规定温度下具有流动性的流动膜(36)、由上述规定温度下的流动性比上述流动膜低的材料形成并能够覆盖上述流动膜的与上述片状发热部件相反一侧的覆盖膜(33)、以及能够形成输出电路部(25)的金属薄片(...

【专利技术属性】
技术研发人员：乡古伦央，坂井田敦资，谷口敏尚，冈本圭司，白石芳彦，
申请(专利权)人：株式会社电装，
类型：发明
国别省市：日本,JP