操作用电磁阀安装结构及流体控制阀制造技术

一种操作用电磁阀安装结构，在包括操作口(131A)的缸体(131)安装对供给至缸体(131)的操作流体进行控制的操作用电磁阀(6)，其中，具有安装了操作用电磁阀(6)的安装块(2)、和与操作口(131A)的内螺纹(131AX)螺纹连接而将安装块(2)安装于缸体(131)的安装螺丝，安装块(2)形成有将操作流体供给至操作用电磁阀(6)的输入流路(2e)、供被操作用电磁阀(6)控制了的操作流体流动的输出流路(2f)、和供安装螺丝(3)贯通并连通于输出流路(2f)的贯通孔(2b)，在安装螺丝(3)中形成有使操作口(131A)与输出流路(2f)连通的内部流路(3h)，通过密封部件(5)和密封部件(10)将贯通孔(2b)的内壁与安装螺丝(3)之间密封。

Installation of structural and fluid control valves with solenoid valves for operation

\u4e00\u79cd\u64cd\u4f5c\u7528\u7535\u78c1\u9600\u5b89\u88c5\u6784\u9020\uff0c\u5728\u5305\u62ec\u64cd\u4f5c\u53e3(131A)\u7684\u7f38\u4f53(131)\u5b89\u88c5\u5bf9\u4f9b\u7ed9\u81f3\u7f38\u4f53(131)\u7684\u64cd\u4f5c\u6d41\u4f53\u8fdb\u884c\u63a7\u5236\u7684\u64cd\u4f5c\u7528\u7535\u78c1\u9600(6)\uff0c\u5176\u4e2d\uff0c\u5177\u6709\u5b89\u88c5\u4e86\u64cd\u4f5c\u7528\u7535\u78c1\u9600(6)\u7684\u5b89\u88c5\u5757(2)\u3001\u548c\u4e0e\u64cd\u4f5c\u53e3(131A)\u7684\u5185\u87ba\u7eb9(131D)\u87ba\u7eb9\u8fde\u63a5\u800c\u5c06\u5b89\u88c5\u5757(2)\u5b89\u88c5\u4e8e\u7f38\u4f53(131)\u7684\u5b89\u88c5\u87ba\u4e1d\uff0c\u5b89\u88c5\u5757(2)\u5f62\u6210\u6709\u5c06\u64cd\u4f5c\u6d41\u4f53\u4f9b\u7ed9\u81f3\u64cd\u4f5c\u7528\u7535\u78c1\u9600(6)\u7684\u8f93\u5165\u6d41\u8def(2e)\u3001\u4f9b\u88ab\u64cd\u4f5c\u7528\u7535\u78c1\u9600(6)\u63a7\u5236\u4e86\u7684\u64cd\u4f5c\u6d41\u4f53\u6d41\u52a8\u7684\u8f93\u51fa\u6d41\u8def(2f)\u3001\u548c\u4f9b\u5b89\u88c5\u87ba\u4e1d(3)\u8d2f\u901a\u5e76\u8fde\u901a\u4e8e\u8f93\u51fa\u6d41\u8def(2f)\u7684\u8d2f\u901a\u5b54(2b)\uff0c\u5728\u5b89\u88c5\u87ba\u4e1d(3)\u4e2d\u5f62\u6210\u6709\u4f7f\u64cd\u4f5c\u53e3(131A)\u4e0e\u8f93\u51fa\u6d41\u8def(2f)\u8fde\u901a\u7684\u5185\u90e8\u6d41\u8def(3h)\uff0c\u901a\u8fc7\u5bc6\u5c01\u90e8\u4ef6(5)\u548c\u5bc6\u5c01\u90e8\u4ef6(10)\u5c06\u8d2f\u901a\u5b54(2b)\u7684\u5185\u58c1\u4e0e\u5b89\u88c5\u87ba\u4e1d(3) Seal between them.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】操作用电磁阀安装构造及流体控制阀
本专利技术涉及操作用电磁阀安装构造及流体控制阀，所述操作用电磁阀安装构造包括：具有操作口的缸体；和对供给至缸体的操作流体进行控制的操作用电磁阀。
技术介绍
例如半导体制造装置通过向设置于反应室内的晶圆供给气体(控制流体的一例)而在晶圆上形成膜。膜的品质受气体供给量的影响。因此，在反应室中，在气体供给口处设置控制气体的流体控制阀。例如，第一现有例的流体控制阀(例如参照专利文献1)由操作用电磁阀驱动。操作用电磁阀经由管路而与装备于流体控制阀处的驱动部的缸体连接。管路经由与缸体螺纹连接的接头而连接于缸体。在操作用电磁阀为非通电的情况下，该流体控制阀并不从管路向缸体供给操作流体，而是处于阀关闭状态。而一旦操作用电磁阀被通电，则流体控制阀就将操作流体从管路供给至缸体，从而驱动部驱动而使阀部成为阀打开状态。另外，半导体的微型化、高密度化正在推进。相伴于此，在半导体制造工序中，开始采用了即使是几纳米的薄膜也能够精确地形成、即使是对纵横比高的部分也能够形成膜的ALD(原子层沉积)生产工艺。ALD生产工艺通过将气体的供给和排放反复进行多次来以纳米级尺度控制膜厚。在该情况下，流体控制阀以高频率进行阀打开关闭动作。另外，每一次的气体供给量变为少量。如第一现有例的流体控制阀那样，在操作用电磁阀与缸体通过管路相连的情况下，从操作用电磁阀到操作口的流路较长，阀打开关闭动作的响应性较差。图12是第二现有例的流体控制阀201(例如参照专利文献2)的剖视图。流体控制阀201经由安装块210而将操作用电磁阀211安装于驱动部203的缸体206的上端部206C。安装块210以使得输出流路210B直接连接于缸体206的操作口206A的方式安装在缸体206上。在流体控制阀201中，在操作用电磁阀211为非通电的情况下，操作流体不被输出至安装块210的输出流路210B中。在该情况下，活塞板213A，213B经由活塞轴209和阀杆231而被复位弹簧232向下推压，并使阀部202的隔膜221抵接于阀座222。而另一方面，在流体控制阀201中，若操作用电磁阀211被通电，则向安装块210的输入流路210A中输入的操作流体在操作用电磁阀211中被控制供给量，并被输出给安装块210的输出流路210B。操作流体经由形成于缸体206的操作口206A、保持孔206B、形成于活塞轴209的中央流路209A、连通流路209B、209C而被供给至缸体室207，对配置在固定板212的上下的活塞板213A、213B向与阀座222相反的朝向加压。由此，活塞板213A、213B抵抗复位弹簧232而使阀杆231上升，隔膜221在自身的反力的作用下变位到与阀杆231抵接的位置，从阀座222离开。这样的流体控制阀201与用管路将操作用电磁阀和缸体连接起来的流体控制阀相比，操作用电磁阀211安装在操作口206A的近处，从操作用电磁阀211到操作口206A的流路短。因此，流体控制阀201能够响应性良好地进行阀打开关闭动作。【现有技术文献】【专利文献】【专利文献1】日本特开2014－109314号公报【专利文献2】日本专利第5054904号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题但是，第二现有例的流体控制阀201存在以下问题。在流体控制阀201中，以使输出流路210B与操作口206A直接连接的方式将安装块210安装于缸体206。因此，当例如管路经由接头连接于操作口的流体控制阀已经设置在反应室中的情况下，无法将操作用电磁阀直接安装于已经设置的流体控制阀的缸体上，因此需要将已经设置的流体控制阀全部换掉。此外，流体控制阀201的缸体206为用于安装块210安装的专用形状，缸体206的制造成本增高。本专利技术正是为了解决上述问题点而完成的，其目的在于提供能够将操作用电磁阀后安装于操作口附近的价格低廉的操作用电磁阀安装构造及流体控制阀。用于解决课题的技术手段本专利技术的一个方式具有以下结构。(1)一种操作用电磁阀安装构造，在包括操作口的缸体安装对供给至所述缸体的操作流体进行控制的操作用电磁阀，其特征在于，在所述操作口形成有内螺纹；并且具有：安装了所述操作用电磁阀的安装块、和与所述内螺纹螺纹连接而将所述安装块安装于所述缸体的安装螺丝，所述安装块具有：输入流路，供所述操作流体流入并供给至所述操作用电磁阀；输出流路，供被所述操作用电磁阀控制了的所述操作流体流出；和贯通孔，供所述安装螺丝贯通并连通于所述输出流路，所述安装螺丝具有使所述操作口与所述输出流路连通的内部流路，所述操作用电磁阀安装构造中，具有将所述贯通孔的内壁与所述安装螺丝之间密封的密封部件。在上述结构中，在安装块形成有贯通孔，该贯通孔供与操作口的内螺纹螺纹连接的安装螺丝贯通。因此，例如在供给操作流体的管路经由接头被连接于操作口的情况下，只要拆下接头，并使安装螺丝贯通在安装了操作用电磁阀的安装块的贯通孔中，再将该安装螺丝螺纹连接于操作口而将安装块安装于缸体，就能够将操作用电磁阀后安装于操作口附近。安装块具有：输入流路，供操作流体输入并供给至操作用电磁阀；输出流路，供被操作用电磁阀控制了的操作流体流动；和贯通孔，供安装螺丝贯通并连通于输出流路。而且，安装螺丝具有使操作口与输出流路连通的内部流路。因此，操作流体被从安装块的输入流路供给至操作用电磁阀，在被控制流量后，经由安装块的输出流路、贯通孔、安装螺丝的内部流路而被输出至操作口。贯通孔的内壁与安装螺丝之间被密封部件密封，因此，操作流体以被操作用电磁阀控制了的流量准确地被供给至缸体。因此，根据上述结构，由于利用与连接管路的接头螺纹连接的操作口的内螺纹，将安装了操作用电磁阀的安装块安装于缸体，所以能够在已经设置的缸体上后安装操作用电磁阀。此外，由于缸体在使用管路的情况下和使用安装块的情况下能够共用，所以能够使缸体的制造成本低廉。(2)在(1)所述的结构中，优选的是，所述安装螺丝具有穿插在所述贯通孔中的轴部，在所述轴部的外周面以环状形成有凹部，所述内部流路在所述凹部的壁面开口。在上述结构中，在安装螺丝的轴部的外周面以环状形成有凹部，内部流路在凹部的壁面开口。因此，不论安装块以什么样的朝向安装于缸体，输出流路都能够经由形成在凹部与贯通孔的内周面之间的间隙连通于内部流路，从而能够将操作流体供给至操作口。因此，根据上述结构，能够将安装块以自由的朝向安装于缸体。(3)一种流体控制阀，其特征在于，包括(1)或(2)所述的操作用电磁阀安装构造。在上述结构中，除了上述(1)或(2)的作用效果外，与通过管路连接于操作口的情况相比，缩短了操作用电磁阀与操作口之间的流路，在操作口的近处控制操作流体的供给量。因此，上述结构的流体控制阀即使在每次少量高频地供给控制流体的情况下，也能够响应性良好地进行该流体控制阀的开闭动作。该功能只需将与操作口连接着的管路更换成安装了操作用电磁阀的安装块、并将该管路连接于安装块，就能够以简单且廉价的方式附加给已经设置的流体控制阀。此外，在上述结构中，在对已经设置的流体控制阀后安装操作用电磁阀的情况下，由于能够根据与其周围设置的设备的关系来自由地调整安装块与操作用电磁阀的朝向，所以易于后安装操作用电磁阀。专利技术效果因此，根据本专利技术，能够提供能将操作用电磁阀后安装于操作口本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种操作用电磁阀安装构造，在包括操作口的缸体安装对供给至所述缸体的操作流体进行控制的操作用电磁阀，其特征在于，在所述操作口形成有内螺纹；并且具有：安装了所述操作用电磁阀的安装块、和与所述内螺纹螺纹连接而将所述安装块安装于所述缸体的安装螺丝，所述安装块具有：输入流路，供所述操作流体流入并供给至所述操作用电磁阀；输出流路，供被所述操作用电磁阀控制了的所述操作流体流出；和贯通孔，供所述安装螺丝贯通并连通于所述输出流路，所述安装螺丝具有使所述操作口与所述输出流路连通的内部流路，所述操作用电磁阀安装构造中，具有将所述贯通孔的内壁与所述安装螺丝之间密封的密封部件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.03.30 JP 2016-0685001.一种操作用电磁阀安装构造，在包括操作口的缸体安装对供给至所述缸体的操作流体进行控制的操作用电磁阀，其特征在于，在所述操作口形成有内螺纹；并且具有：安装了所述操作用电磁阀的安装块、和与所述内螺纹螺纹连接而将所述安装块安装于所述缸体的安装螺丝，所述安装块具有：输入流路，供所述操作流体流入并供给至所述操作用电磁阀；输出流路，供被所述操作用电磁阀控制了的...

【专利技术属性】
技术研发人员：青山达人，
申请(专利权)人：CKD株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP