电化学抛光溶液及电化学抛光石墨栅极的方法、石墨栅极技术

本发明专利技术公开了一种电化学抛光溶液及电化学抛光石墨栅极的方法、石墨栅极，用以提供一种有效去除栅极表面污渍，提高栅极质量的电化学抛光溶液和抛光方法。所述电化学抛光溶液，包括：900～1000重量份的水；195～205重量份的碱金属的氢氧化物；49～51重量份的弱酸盐；294～306重量份的添加剂。

Electrochemical polishing solution and electrochemical polishing method for graphite gate, graphite gate

The invention discloses a method, electrochemical polishing solution and electrochemical polishing of graphite graphite grid gate, to provide an effective removal of stains gate surface, improve the quality of gate electrochemical polishing solution and polishing method. The electrochemical polishing solution comprises 900~1000 parts of water; 195~205 parts of alkali metal hydroxide; 49~51 parts of weak acid salt; and 294~306 weight parts of additives.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及非金属表面电化学法处理的
，尤其涉及一种电化学抛光溶液及电化学抛光石墨栅极的方法、石墨栅极。
技术介绍
在电真空
中，热解石墨栅极是大型发射管，特别是设计超蒸发冷却阳极的大功率发射三极管/四极管，最为理想的栅极材料。用热解石墨制成的栅极彻底消除了点焊对缝、焊接栅极帽、支座配合等带来的机械应力可能造成的栅极变形，同时具有良好的热性能、机械性能、导电性及真空性能。但是,在热解石墨栅极制造过程中栅极表面存在石蜡、粉尘及其它污物，这些在电子管排气过程中，由于电极加热，使它们分解，放出大量气体；或者在以后的使用过程中，逐步分解和蒸发，这样就使管内真空度变坏，使电子管耐高电压受到严重影响，甚至成为废品。因此,在装管前石墨栅极必须进行净化处理，如果未进行净化处理，石墨栅极在排气台时就会出现栅极放气，真空度上不去，或栅极毛刺电流大，从而造成废品。现有技术，石墨栅极表面处理工艺为：将汽油浸泡12小时后的石墨栅极用自来水冲洗干净，然后采用去离子水煮沸30分钟，再采用超声波清洗1个小时实现石墨栅极表面净化处理的过程。汽油只能起到去油效果，不能去除石墨栅极表面粉尘和毛刺。此外，现有技术石墨栅极表面处理工艺的周期较长，去油率较低（即不能完全去除汽油），并且汽油易燃，在使用的过程中不安全。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种电化学抛光溶液及电化学抛光石墨栅极的方法、石墨栅极，用以提供一种净化周期较短、去污能力较强的电化学抛光溶液，使用该电化学抛光溶液电化学抛光石墨栅极，表面较洁净，可以提高栅极的耐高电压能力。所述电化学抛光溶液，包括：900～1000重量份的水；195～205重量份的碱金属的氢氧化物；49～51重量份的弱酸盐；294～306重量份的添加剂。较佳地，所述碱金属的氢氧化物的重量份为200重量份，所述弱酸盐的重量份为50重量份，所述添加剂的重量份为300重量份。较佳地，所述碱金属的氢氧化物为氢氧化钠或氢氧化钾；所述弱酸盐为氟化氢钾或铬酸钾；所述添加剂为甘油。本专利技术实施例提供一种电化学抛光石墨栅极的方法，包括：以石墨栅极为阳极，以导电金属或合金电极为阴极，将所述阳极和阴极置于电化学抛光溶液中，为所述阳极和阴极通电进行电化学抛光，所述电化学抛光溶液为上述任一方式的电化学抛光溶液。较佳地，为阳极和阴极通电进行电化学抛光，具体为：向所述阳极和阴极提供160±5安培的电流，通电时间为3～5分钟，抛光时所述电化学抛光溶液的温度为90±5℃。较佳地，所述方法还包括：将所述电化学抛光之后的石墨栅极用水冲洗干净；将所述用水冲洗干净的石墨栅极在超声波清洗装置中清洗50～60分钟；将所述超声波清洗装置清洗后的石墨栅极进行脱水处理.较佳地，对所述石墨栅极进行脱水处理包括：将所述超声波清洗装置清洗后的石墨栅极用酒精清洗。较佳地，对所述石墨栅极进行脱水处理还包括：将所述用酒精处理后的石墨栅极用高压空气或电吹风将所述石墨栅极吹干。本专利技术实施例还提供一种石墨栅极，采用上述任一项所述的方法制得。综上所述，本专利技术所述电化学抛光溶液，包括：900～1000重量份的水；195～205重量份的碱金属的氢氧化物；49～51重量份的弱酸盐；294～306重量份的添加剂。所述电化学抛光溶液能去除石墨栅极表面粉尘和毛刺，避免栅极毛刺电流大造成废品，而采用本专利技术所述电化学抛光方法得到的石墨栅极，表面洁净，可以避免栅极放气，提高栅极的耐高电压能力，而且处理周期较短，不易燃、更安全。附图说明图1为本专利技术实施例提供的电化学抛光石墨栅极的方法流程示意图。具体实施方式本专利技术实施例提供一种电化学抛光溶液及电化学抛光石墨栅极的方法、石墨栅极，用以提供一种净化周期短、去污能力强的电化学抛光溶液，使用该电化学抛光溶液电化学抛光的石墨栅极，表面洁净，可以提高栅极的耐高电压能力。电化学抛光也称电解抛光，所述电解抛光是以被抛光件为阳极，以导电金属或合金电极为阴极，两极同时浸入到同一电解槽中，通以直流电而产生有选择性的阳极溶解，从而达到工件表面光亮度增大的效果。通过对电流密度、溶液粘度以及温度的控制，使金属在电解液中选择性溶解（低凹部位进入钝态而凸起部位活性溶解），达到电化学整平抛光的目的。首先说明本专利技术实施例提供的电化学抛光溶液。本专利技术实施例提供的电化学抛光溶液包括：水、碱金属的氢氧化物、弱酸盐、以及起阳极保护作用的添加剂的混合液；900～1000重量份的水；195～205重量份的碱金属的氢氧化物；49～51重量份的弱酸盐；294～306重量份的添加剂。优选地，所述碱金属的氢氧化物的重量份为200重量份，所述弱酸盐的重量份为50重量份，所述添加剂的重量份为300重量份。所述碱金属的氢氧化物和弱酸盐均为在水中易电解的物质，碱金属的氢氧化物和弱酸盐作为电解液，起导电作用。所述起阳极保护作用的添加剂在混合液中吸附在阳极的表面，对阳极溶解起阻化作用，同时起到锐化作用，这是因为：石墨栅极放入电解槽中，形成电路产生电流，阳极失去电子产生溶解现象，表面被不断蚀除，随着溶解的进行，在阳极表面会生成黏度高、电阻大的氧化物薄膜，凸起处较薄，电阻较小，电流密度比凹处大，这样凸起处先被溶解，从而降低表面粗糙度，达到抛光的目的。添加剂例如甘油在抛光液中起缓蚀作用，能够吸附在阳极表面，在阳极表面形成一层更牢固的阻化膜，对阳极溶解起一定的阻化作用，使得阳极表面的凸起处缓慢溶解，从而使抛光表面平整、光亮、细致，起到对抛光件表面的锐化作用。所述碱金属的氢氧化物、弱酸盐溶于水后，对阳极的溶解能力较强，使用该电化学抛光溶液电化学抛光石墨栅极，得到的石墨栅极表面洁净，可以提高栅极的耐高电压能力。较佳地，所述碱金属的氢氧化物为氢氧化钠或氢氧化钾；所述弱酸盐为氟化氢钾或铬酸钾；所述添加剂为甘油。甘油在电解液中起缓蚀作用，可以适当保护作为阳极的石墨栅极。当然，所述碱金属的氢氧化物和弱酸盐不限于上述提到的物质。较佳地，所述混合液各组分的质量分别为：水：900～1000g；氢氧化钠或氢氧化钾：195～205g；氟化氢钾或铬酸钾：49～51g；甘油：294～306g。针对900～1000g水中，甘油含量低于294g时，抛光面不够光亮，含量在294～306g之间时，抛光面光亮而细致，含量高于306g时，溶液中的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电化学抛光溶液，其特征在于，包括：900～1000重量份的水；195～205重量份的碱金属的氢氧化物；49～51重量份的弱酸盐；294～306重量份的添加剂。

【技术特征摘要】
1.一种电化学抛光溶液，其特征在于，包括：
900～1000重量份的水；
195～205重量份的碱金属的氢氧化物；
49～51重量份的弱酸盐；
294～306重量份的添加剂。
2.根据权利要求1所述的电化学抛光溶液，其特征在于，所述碱金属的
氢氧化物的重量份为200重量份，所述弱酸盐的重量份为50重量份，所述添
加剂的重量份为300重量份。
3.根据权利要求1所述的电化学抛光溶液，其特征在于，所述碱金属的
氢氧化物为氢氧化钠或氢氧化钾；所述弱酸盐为氟化氢钾或铬酸钾；所述添加
剂为甘油。
4.一种电化学抛光石墨栅极的方法，其特征在于，包括：
以石墨栅极为阳极，以导电金属或合金电极为阴极，将所述阳极和阴极置
于电化学抛光溶液中，为所述阳极和阴极通电进行电化学抛光，所述电化学抛
光溶液为权利要求1-3任一所述的电化学抛光溶液。
5.根据权利要求4所述的方法，...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖美玲，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11