The invention of the fixed beam indirectly heated type microwave signal detector is composed of six port beam coupler, channel selection switch, microwave frequency detector, a microwave phase detector; six port clamped beam coupler by coplanar waveguide, dielectric layer, air layer and fixed beam; six port clamped beam coupler to the first port third port and fourth port, the first port to the fifth port and sixth port power coupling degree were the same, the signal to be measured by the first input port, second port output by indirect heating type microwave power detector consists of fourth port and sixth port output indirect heating microwave phase detector, by third and fifth port output channel selection switch seventh and eighth port; indirect heating type microwave power sensor channel selection switch, channel selection switch ninth end A microwave frequency detector is arranged at the mouth and the tenth port. Finally, a chip is used to detect the microwave power, phase and frequency of the three microwave parameters.
【技术实现步骤摘要】
固支梁间接加热式微波信号检测器
本专利技术提出了固支梁间接加热式微波信号检测器,属于微电子机械系统的
技术介绍
微波信号的幅度、功率、频率等参数是传统的测量参数。微波信号相位测量不仅与功率测量相关,而且它本身在微波测量中也占有十分重要的地位。随着频率的增加,信号的波长与电路中各种元器件尺寸逐步接近,电路中电压、电流都以波的形式存在,信号的相位延迟使得电路中不仅不同位置处的电压、电流在同一时刻振幅各不相同,而且同一位置处的电压、电流在不同时刻也各不相同。因此在微波频段掌握并控制信号的相位是很有必要的,微波信号的相位也就成了一个重要的测量参数。本专利技术即是基于Si工艺设计一种单个芯片同时实现检测微波功率、相位、频率的固支梁间接加热式微波信号检测器。
技术实现思路
技术问题:本专利技术的目的是提供一种固支梁间接加热式微波信号检测器,应用六端口固支梁耦合器端口来耦合连接不同的检测功能模块,从而实现了一个芯片同时对微波信号的功率、相位、频率三种微波参量的检测、具有低功耗、低成本的益处。技术方案:本专利技术的固支梁间接加热式微波信号检测器由六端口固支梁耦合器,通道选择开关,微波频率检测器,微波相位检测器组成;六端口固支梁耦合器的第一端口到第三端口、第四端口以及第一端口到第五端口、第六端口的功率耦合度分别相同,待测信号经第一端口输入,由第二端口输出到第一间接加热式微波功率检测器,由第四端口和第六端口分别输出到微波相位检测器的第一Wilkinson功率合成器和第二Wilkinson功率合成器,并由第一Wilkinson功率合成器和第二Wilkinson功率合成器接 ...
【技术保护点】
一种固支梁间接加热式微波信号检测器,其特征在于该相位检测器由六端口固支梁耦合器(1),通道选择开关(2),微波频率检测器(3)和微波相位检测器(4)级联构成;六端口固支梁耦合器(1)的第一端口到第三端口、第四端口以及第一端口到第五端口、第六端口的功率耦合度分别相同,待测信号经第一端口(1‑1)输入,由第二端口(1‑2)输出到第一间接加热式微波功率检测器(5‑1),由第四端口(1‑4)和第六端口(1‑6)分别输出到微波相位检测器(4)的第一Wilkinson功率合成器(6‑1)和第二Wilkinson功率合成器(6‑2),并由第一Wilkinson功率合成器(6‑1)和第二Wilkinson功率合成器(6‑2)接第二间接加热式微波功率检测器(5‑2)和第三间接加热式微波功率检测器(5‑3);由第三端口(1‑3)和第五端口(1‑5)输出到通道选择开关(2)通道选择开关(2)的第七端口(2‑1)和第八端口(2‑2)接第二间接加热式微波功率传感器(5‑2)和第三间接加热式微波功率传感器(5‑3),通道选择开关(2)的第九端口(2‑3)和第十端口(2‑4)接微波频率检测器(3)的第三Wilkin ...
【技术特征摘要】
1.一种固支梁间接加热式微波信号检测器,其特征在于该相位检测器由六端口固支梁耦合器(1),通道选择开关(2),微波频率检测器(3)和微波相位检测器(4)级联构成;六端口固支梁耦合器(1)的第一端口到第三端口、第四端口以及第一端口到第五端口、第六端口的功率耦合度分别相同,待测信号经第一端口(1-1)输入,由第二端口(1-2)输出到第一间接加热式微波功率检测器(5-1),由第四端口(1-4)和第六端口(1-6)分别输出到微波相位检测器(4)的第一Wilkinson功率合成器(6-1)和第二Wilkinson功率合成器(6-2),并由第一Wilkinson功率合成器(6-1)和第二Wilkinson功率合成器(6-2)接第二间接加热式微波功率检测器(5-2)和第三间接加热式微波功率检测器(5-3);由第三端口(1-3)和第五端口(1-5)输出到通道选择开关(2)通道选择开关(2)的第七端口(2-1)和第八端口(2-2)接第二间接加热式微波功率传感器(5-2)和第三间接加热式微波功率传感器(5-3),通道选择开关(2)的第九端口(2-3)和第十端口(2-4)接微波频率检测器(3)的第三Wilkinson功率合成器(6-3),由第三Wilkinson功率合成器(6-3)接第五间接加热式微波功率检测器(5-5),从而实现了对微波信号功率、相位、频率的检测;其中,六端口固支梁耦合器(1)...
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