Fixed beam type T of the invention the indirectly heated type microwave signal detector is composed of six port beam coupler, channel selection switch, microwave frequency detector, microwave phase detector cascade system; six port clamped beam coupler by coplanar waveguide, dielectric layer, air layer and clamped clamped beam Liang Goucheng; six port coupler the first port to the third port and fourth port, the first port to the same power coupling of fifth port and sixth port of the signal to be measured by the first input port, output port from second to the first indirect heating type microwave power sensor, fourth port and sixth port output to the microwave phase detector consists of third port and fifth port; output to channel selection switch; channel selection switch seventh and eighth ports are respectively connected with the indirectly heated type microwave power sensor, channel selection The ninth port and the tenth port of the switch are connected with a microwave frequency detector, thereby realizing the detection of the power, the phase and the frequency of the microwave signal.
【技术实现步骤摘要】
固支梁T型结间接加热式微波信号检测器
本专利技术提出了固支梁T型结间接加热式微波信号检测器,属于微电子机械系统的
技术介绍
微波信号相位测量在微波测量中占有十分重要的地位。随着频率的增加,信号的波长与电路中各种元器件尺寸逐步接近,电路中电压、电流都以波的形式存在,信号的相位延迟使得电路中不仅不同位置处的电压、电流在同一时刻振幅各不相同,而且同一位置处的电压、电流在不同时刻也各不相同。因此在微波频段掌握并控制信号的相位是很有必要的。本专利技术即是基于Si工艺设计一种单个芯片同时实现检测微波功率、相位、频率的固支梁T型结间接加热式微波信号检测器。
技术实现思路
技术问题:本专利技术的目的是提供一种固支梁T型结间接加热式微波信号检测器,应用六端口固支梁耦合器端口来耦合连接不同的检测功能模块,从而实现了一个芯片同时对微波信号的功率、相位、频率三种微波参量的检测、具有低功耗、低成本的益处。技术方案:本专利技术的固支梁T型结间接加热式微波信号检测器由六端口固支梁耦合器,通道选择开关,微波频率检测器,微波相位检测器组成;六端口固支梁耦合器的第一端口到第三端口、第四端口以及第一端口到第五端口、第六端口的功率耦合度相同,待测信号经第一端口输入,由第二端口输出到第一间接加热式微波功率传感器,由第四端口和第六端口输出到微波相位检测器的第一T型结功率合成器和第二T型结功率合成器,并由第一T型结功率合成器和第二T型结功率合成器接第四间接加热式微波功率传感器和第五接加热式微波功率传感器;由第三端口和第五端口输出到通道选择开关;通道选择开关的第七端口和第八端口分别接第二间接加热式 ...
【技术保护点】
一种固支梁T型结间接加热式微波信号检测器,其特征在于该相位检测器由六端口固支梁耦合器(1),通道选择开关(2),微波频率检测器(3),微波相位检测器(4)级联构成;其中,六端口固支梁耦合器(1)的第一端口(1‑1)到第三端口(1‑3)、第四端口(1‑4)以及第一端口(1‑1)到第五端口(1‑5)、第六端口(1‑6)的功率耦合度相同,待测信号经第一端口(1‑1)输入,由第二端口(1‑2)输出到第一间接加热式微波功率传感器(5‑1),由第四端口(1‑4)和第六端口(1‑6)输出到微波相位检测器(4)的第一T型结功率合成器(6‑1)和第二T型结功率合成器(6‑2),并由第一T型结功率合成器(6‑1)和第二T型结功率合成器(6‑2)接第四间接加热式微波功率传感器(5‑4)和第五接加热式微波功率传感器(5‑5);由第三端口(1‑3)和第五端口(1‑5)输出到通道选择开关(2);通道选择开关(2)的第七端口(2‑1)和第八端口(2‑2)分别接第二间接加热式微波功率传感器(5‑2)和第三间接加热式微波功率传感器(5‑3),通道选择开关(2)的第九端口(2‑3)和第十端口(2‑4)接微波频率检测器(3 ...
【技术特征摘要】
1.一种固支梁T型结间接加热式微波信号检测器,其特征在于该相位检测器由六端口固支梁耦合器(1),通道选择开关(2),微波频率检测器(3),微波相位检测器(4)级联构成;其中,六端口固支梁耦合器(1)的第一端口(1-1)到第三端口(1-3)、第四端口(1-4)以及第一端口(1-1)到第五端口(1-5)、第六端口(1-6)的功率耦合度相同,待测信号经第一端口(1-1)输入,由第二端口(1-2)输出到第一间接加热式微波功率传感器(5-1),由第四端口(1-4)和第六端口(1-6)输出到微波相位检测器(4)的第一T型结功率合成器(6-1)和第二T型结功率合成器(6-2),并由第一T型结功率合成器(6-1)和第二T型结功率合成器(6-2)接第四间接加热式微波功率传感器(5-4)和第五接加热式微波功率传感器(5-5);由第三端口(1-3)和第五端口(1-5)输出到通道选择开关(2);通道选择开关(2)的第七端口(2-1)和第八端口(2-2)分别接第二间接加热式微波功率传感器(5-2)和第三间接加热式微波功率传感器(5-3),通道选择开关(2)的第九端口(2-3)和第十端口(2-4)接微波频率检测器(3)的第三T型结功率合成器(6-3),由第三T型结功率合成器(6-3)接第六间接加热式微波功率传感器(5-6);从而实现了对微波信号功率、相位、频率的检测;其中,六端口固支梁耦合器(1)由共面波导...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。