【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种多通道石英晶体微天平芯片的制作模板,属于石英晶体微天平的微加工领域。
技术介绍
石英晶体微天平(QuartzCrystalMicrobanlance,QCM)是一种声波厚度剪切模式传感器,由一块具有压电效应的石英晶体片和成对的电极组成。根据外部物理载荷的特点,QCM分为重量载荷和粘弹性载荷两类。重量载荷是沉积在电极表面的附着物,其引起QCM谐振频率变化,主要应用在物理蒸发沉积过程的厚度监测;粘弹性载荷是QCM处于粘弹性介质环境中产生的载荷,液体的粘度和密度导致谐振频率变化,其主要应用于生物和化学传感。QCM在传感领域具有高灵敏度、高稳定性、低成本、快速响应和免标记检测等特点,应用还包括:电化学、分析化学和免疫分析、病毒检测、蛋白质互相作用监测等多个领域。单个QCM面临的主要技术缺陷为测量参数受环境变量如温度、粘度、传导率影响较大,AT石英具有较低的温度系数,其应用虽然能减弱温度的影响,但温度和其他影响因素仍不能消除。多通道石英晶体微天平(MultichannelQuartzCrystalMicrobanlance,MQCM)是在一块石英晶体上阵列多个QCM,选用一个QCM通道作为参照,放置于其他通道相同的环境变量中,其测量的频率变化即为环境引起,再通过作差的方法消除环境变量的影响。另外,还可通过在MQCM不同通道上修饰不同的传感层,实现多成分分析。此外,MQCM还具有匹配性好、集成化程度高、成本低、样品需求少的 ...
【技术保护点】
一种多通道石英晶体微天平芯片的制作模板,包括电极加工部件,其特征在于:所述电极加工部件由位于下部的共用电极加工板(10)和通过可拆卸方式固定于共用电极加工板(10)上部的功能电极加工板(20)构成,所述共用电极加工板(10)上有至少一个用于加工共用电极的共用电极孔(11),功能电极加工板(20)上与所述每个共用电极孔(11)对应的区域处开有至少两个用于加工功能电极的功能电极孔(21);所述共用电极加工板(10)和功能电极加工板(20)之间设置有芯片固定板(30),所述芯片固定板(30)上开有固定芯片的芯片固定通孔(31),可将芯片固定于共用电极加工板(10)和功能电极加工板(20)之间,并覆盖每个共用电极孔(11);所述功能电极加工板(20)的上部还设置有可遮挡部分功能电极孔(21)的遮挡部件。
【技术特征摘要】
1.一种多通道石英晶体微天平芯片的制作模板,包括电极加工部件,其特征在于:所述电极
加工部件由位于下部的共用电极加工板(10)和通过可拆卸方式固定于共用电极加工板(10)上部
的功能电极加工板(20)构成,所述共用电极加工板(10)上有至少一个用于加工共用电极的共用
电极孔(11),功能电极加工板(20)上与所述每个共用电极孔(11)对应的区域处开有至少两个用
于加工功能电极的功能电极孔(21);所述共用电极加工板(10)和功能电极加工板(20)之间设
置有芯片固定板(30),所述芯片固定板(30)上开有固定芯片的芯片固定通孔(31),可将芯片固
定于共用电极加工板(10)和功能电极加工板(20)之间,并覆盖每个共用电极孔(11);所述功
能电极加工板(20)的上部还设置有可遮挡部分功能电极孔(21)的遮挡部件。
2.根据权利要求1所述的一种多通道石英晶体微天平芯片的制作模板,其特征在于:所述共
用电极加工板(10)和功能电极加工板(20)之间通过可拆卸方式固定的具体方式是:共用电极加
工板(10)和功能电极加工板(20)的边缘对应位置处设置有磁性材料,共用电极加工板(10)和
功能电极加工板(20)通过磁性吸引力结合固定。
3.根据权利要求2所述的一种多通道石英晶体微天平芯片的制作模板,其特征在于:所述芯
片固定板(30)的面积小于共用电极加工板(10)上表面和功能电极加工板(20)下表面的面积,
所述共用电极加工板(10)和功能电极加工板(20)的边缘对应位置处设置的磁性材料的布置方式
是:共用电极加工板(10)边缘的上表面未被芯片固定板(30)覆盖的部分设置有磁性凸起(41),
功能电极加工板(20)的下表面对应位置处设置有与所述磁性凸起(41)配合的磁性凹槽(42)。
4.根据权利要求2或3任一所述的一种多通道石英晶体微天平芯片的制作模板,其特征在于:
所述共用电极加工板(10)、功能电极加工板(20)和芯片固定板(30)上还设置有对准装置,用
于共用电极加工板(10)和功能电极加工板(20)通过磁性吸引力结合时,共用电极孔(11)、芯
片固定通孔(31)和功能电极孔(21)位置对准。
5.根据权利要求4所述的一种多通道石英晶体微天平芯片的制作模板,其特征在于:所述对
准装置的具体结构是:所述共用电极加工板(10)的上表面设置有至少一个对准凸起(51),芯片
固定板(30)的对应位置处开有尺寸与所述对准凸起(51)外周一致、恰好可使对准凸起(51)穿
过的对准通孔(53),所述功能电极加工板(...
【专利技术属性】
技术研发人员:永远,许章亮,陈大志,谢小川,黄小霞,
申请(专利权)人:成都柏森松传感技术有限公司,
类型:发明
国别省市:四川;51
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