【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于太赫兹成像
,具体涉及一种太赫兹光扩束均匀化装置。
技术介绍
太赫兹成像技术是利用太赫兹光线照射被测物体,通过在焦平面收集物体的透射或反射信息,进而成像的技术。太赫兹成像目前广泛应用于无损检测,安检,生物医学领域。选择合适的太赫兹光源是成像系统的关键技术。相比于利用点光源扫描成像,利用太赫兹面阵成像具有像素点多,成像速度快,实时成像等优点。面阵成像系统所需的面光源以及面阵探测器的响应度标定都要求使用大面积能量分布均匀的太赫兹光束。现有的太赫兹源主要利用气体激光器抽运甲醇,二氟甲烷或者一氯甲烷产生不同波段的太赫兹光或者利用量子级联激光器(QCL)实现全固态太赫兹激光。这两种方法产生的太赫兹光输出有功率波动,光斑直径很小(在毫米级),能量呈高斯分布,不能满足面阵实时成像系统的需求。为了获得大面积均匀的太赫兹光束,就需要一种对太赫兹激光进行扩束与均匀化装置。而现有技术虽然能基本满足获得大面积均匀的太赫兹光束,但是仍然无法达到更加均匀的平顶能量分布,不利于焦平面探测器标定。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种太赫兹光扩束均匀化装置,实现
获得能量均匀分布的面积较大的平顶太赫兹光斑。本专利技术解决上述技术问题的技术方案如下:本专利技术提供了一种太赫兹光扩束均匀化装置,所述扩束均匀化装置的前端设置有太赫兹光源,所述扩束均匀化装置包括扩束器、积分器和成像焦平面,所述扩束器设置在太赫兹光源与积分器之间,所述焦平面设置在积分器后端,所述扩束器包括凸透镜I和凸透镜II,所述凸透镜I设置在凸透镜II与太赫兹光源之间,所述凸透镜 ...
【技术保护点】
一种太赫兹光扩束均匀化装置,所述扩束均匀化装置的前端设置有太赫兹光源(1),其特征在于,所述扩束均匀化装置包括扩束器(2)、积分器(3)和成像焦平面(4),所述扩束器(2)设置在太赫兹光源(1)与积分器(3)之间,所述焦平面设置在积分器(3)后端,所述扩束器(2)包括凸透镜I(5)和凸透镜II(6),所述凸透镜I(5)设置在凸透镜II(6)与太赫兹光源(1)之间,所述凸透镜I(5)的后焦点与凸透镜II(6)的前焦点重合,所述积分器(3)包括两个微透镜阵列(7)、透镜(8)和聚光透镜(9),所述微透镜阵列(7)由若干个子球面透射镜(10)排列构成,所述两个微透镜阵列(7)分别固定设置在透镜(8)的前后两面,所述透镜(8)设置在聚光透镜(9)前端,所述成像焦平面(4)设置在聚光透镜(9)后焦点处,所述凸透镜I(5)、凸透镜II(6)和聚光透镜(9)的光心与太赫兹光源(1)的中心在同一直线上。
【技术特征摘要】
1.一种太赫兹光扩束均匀化装置,所述扩束均匀化装置的前端设置有太赫兹光源(1),其特征在于,所述扩束均匀化装置包括扩束器(2)、积分器(3)和成像焦平面(4),所述扩束器(2)设置在太赫兹光源(1)与积分器(3)之间,所述焦平面设置在积分器(3)后端,所述扩束器(2)包括凸透镜I(5)和凸透镜II(6),所述凸透镜I(5)设置在凸透镜II(6)与太赫兹光源(1)之间,所述凸透镜I(5)的后焦点与凸透镜II(6)的前焦点重合,所述积分器(3)包括两个微透镜阵列(7)、透镜(8)和聚光透镜(9),所述微透镜阵列(7)由若干个子球面透射镜(10)排列构成,所述两个微透镜阵列(7)分别固定设置在透镜(8)的前后两面,所述透镜(8)设置在聚光透镜(9)前端,所述成像焦平面(4)设置在聚光透镜(9)后焦点处,所述凸透镜I...
【专利技术属性】
技术研发人员:王亮,王鹏,王宏臣,陈文礼,董珊,
申请(专利权)人:烟台睿创微纳技术有限公司,
类型:发明
国别省市:山东;37
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