一种金属气体元素注入系统的搭建方法技术方案

本发明专利技术一种金属气体元素注入系统的搭建方法，涉及金属气体元素注入系统领域，其步骤包括：第一、真空系统搭建；第二、真空检漏；第三、抽真空；第四、烘烤；第五、加热；第六、注量分析。通过上述方式，提供一种金属气体元素注入系统的搭建方法元素注入系统，系统搭建简单易行，便于拆卸；并且能够及时监测真空的变化，系统的控制精准，而且易于监测控制。

【技术实现步骤摘要】
201610131295

【技术保护点】
一种金属气体元素注入系统的搭建方法，其特征在于：系统步骤包括：第一、真空系统搭建；将四通、第一级管道、第二级管道、第三级管道、三个分子泵、冷规、带管道的松套法兰、热阴极规和玻璃法兰进行对接；第二、真空检漏；密封第一级管道并将三个分子泵并联，再通过检漏仪进行压力检测，检测顺序自上而下；第三、抽真空；将镁粉加入坩埚中，将克努森容器接在第一级管道上，将涡旋式干泵与分子泵相连，将机械泵开启，待系统压强下降到分子泵能够工作的压强范围内，开启分子泵；记录真空示数的变化；第四、烘烤；将烘烤带均匀的包在真空管道上，在烘烤带外包裹铝箔；调整烘烤带的加热电源，并用红外测温仪监测温度变化，温度稳定后观察真空变化；第五、加热；用温度控制器结合加热电源进行加热，开启水冷装置，设置加热温度；加热停止后，等温度下降并关闭水冷装置；打开分子泵上的放气阀，是系统恢复至1个大气压，卸下玻璃法兰，未形成镀膜；第六、注量分析；镀膜未成功则无法通过测量膜厚来估算气体注量，需要采用真空极差变化来估算注量。

【技术特征摘要】
1.一种金属气体元素注入系统的搭建方法，其特征在于：系统步骤包括：
第一、真空系统搭建；将四通、第一级管道、第二级管道、第三级管道、
三个分子泵、冷规、带管道的松套法兰、热阴极规和玻璃法兰进行对接；
第二、真空检漏；密封第一级管道并将三个分子泵并联，再通过检漏仪进
行压力检测，检测顺序自上而下；
第三、抽真空；将镁粉加入坩埚中，将克努森容器接在第一级管道上，将
涡旋式干泵与分子泵相连，将机械泵开启，待系统压强下降到分子泵能够工作
的压强范围内，开启分子泵；记录真空示数的变化；
第四、烘烤；将烘烤带均匀的包在真空管道上，在烘烤带外包裹铝箔；调
整烘烤带的加热电源，并用红外测温仪监测温度变化，温度稳定后观察真空变
化；
第五、加热；用温度控制器结合加热电源进行加热，开启水冷装置，设置
加热温度；加热停止后，等温度下降并关闭水冷装置；打开分子泵上的放气阀，
是系统恢复至1个大气压，卸下玻璃法兰，未形成镀膜；
第六、注量分析；镀膜未成功则无法通过测量膜厚来估算气体注量，需要
采用真空极差变化来估算注量。
2.根据权利要求1所述的一种金属气体元素注入系统的搭建方法，其特征
在于：所述第一步具体包括：
a、将一个带小孔的四通与第一级管道通过法兰进行连接，以中心对称的方
式将分子泵和冷规接在四通的两个...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙安，范义奎，张力平，
申请(专利权)人：江苏德佐电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32