【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅片清洗工装领域,具体为一种硅棒夹具结构。
技术介绍
硅棒夹具用于硅棒在经过切割机切割后,将切割好的硅片与连接件一起搬运至清洗工位的一种夹具,现有的硅棒夹具结构见图1,切割后的硅片连带连接件卡入加强板I与弯板2形成的空腔内,通过螺钉3顶紧连接件4,支撑杆5搁置于行进机构上,由行进机构将已切割好的硅片送到清洗工位。这种结构中,硅片粘连连接件一起卡在加强板I与弯板2形成的空腔内,可靠性较差,在进入清洗工位清洗硅片时,容易引起连接件晃动,从而有可能因此使硅片受损,并且,支撑杆5焊接在弯板2上,长时间使用容易因受力导致接口处断裂,从而影响到硅片的安全输送。
技术实现思路
针对上述问题,本专利技术提供了一种硅棒夹具结构,其能够可靠固定切割后的硅片连接件,并保证输送过程的安全性。其技术方案是这样的,其包括支撑杆,在所述支撑杆的两端设置有限位环,其特征在于:其还包括输送架,所述输送架为U形槽,所述支撑杆贯穿于所述U形槽的槽壁,所述U形槽的底部开口并设置有法兰边,所述硅片连接件卡接于所述开口处,所述法兰边与硅片连接件匹配。其进一步特征在于:所述法兰边的表面覆盖橡胶层。本专利技术的有益效果在于:支撑杆直接贯穿于U形槽式输送架的槽壁,避免了现有技术中的焊接方式有可能在长时间使用后接口处容易因受力而断裂,影响到硅片输送的安全性,U形槽的底部开口并设置为法兰边,法兰边与硅片连接件匹配,这样硅片连接件卡入到U形槽的底部开口处,法兰边整个包围住硅片连接件,区别于现有技术,硅片连接件与硅棒夹具结构接触的有效面积增大,到清洗工位清洗时可靠性强。而在法兰边的表面覆盖 ...
【技术保护点】
一种硅棒夹具结构,其包括支撑杆,在所述支撑杆的两端设置有限位环,其特征在于:其还包括输送架,所述输送架为U形槽,所述支撑杆贯穿于所述U形槽的槽壁,所述U形槽的底部开口并设置有法兰边,所述硅片连接件卡接于所述开口处,所述法兰边与硅片连接件匹配。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:田芸,
申请(专利权)人:无锡市福曼科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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