【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学和环保仪器
,特别是涉及一种反射式的激光在线气体分 析仪光路装置。
技术介绍
激光在线气体分析仪采用可调谐半导体激光吸收光谱技术(Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy,简称TDLAS),通过分析激光被气体的选择性吸收来获得 气体的浓度。 调制光谱检测技术是一种被最广泛应用的可以获得较高检测灵敏度的半导体激 光吸收光谱技术,它通过快速调制激光频率使其扫过被测气体吸收谱线的频率范围,然后 采用相敏检测技术测量被气体吸收后透射谱线中的谐波分量来分析气体的吸收情况。光导 体激光的频率一般有两种方法来调谐:一是通过改变半导体激光器的工作温度;另一种是 通过改变激光器的工作电流。由于第二种能获得较快的光频率调谐速度,因此半导体激光 吸收光谱技术普遍采用给半导体激光器注入一定频率的正弦波电流使激光频率扫描过整 条吸收谱线来获得完整的吸收光谱数据。 TDLAS技术是一种高分辨率的光谱吸收技术,半导体激光穿过被测气体的光强衰 减可用朗伯-比尔(Lambert-Beer)定律来表达: Iv= I v,J(v) = Iv,〇exp 式中,IV,Q和I 别表示频率为V的激光入射时和经过压力P,浓度X和光程L后 的光强;S(T)表示气体吸收谱线的强度;线性函数g(V-V(l)表征该吸收谱线的形状。 使用较高频率的正弦波来调制激光器的工作电流调制激光的光频率,对调制后的 气体透过率作谐波分解,各谐波分量均反映了气体吸收谱线的透过率信息。基于半导体激 光吸收光谱技术的仪器一般通过测量二次谐波信号来 ...
【技术保护点】
一种反射式的激光在线气体分析仪光路装置,其特征在于,包括依次连接的激光发射接收单元、去背景单元、在线监测单元和激光反射单元;所述激光发射接收单元包括,可调谐激光器、楔形镜一、参比池、探测器一、探测器二和探测器三,所述参比池及所述探测器一的主光轴方向与所述可调谐激光器发出激光的方向关于所述楔形镜一的第一表面的法线对称,所述激光经所述楔形镜一的第一表面反射形成第一路反射光,所述第一路反射光经过所述参比池进入所述探测器一,所述激光经过所述楔形镜的第一表面折射后的激光经所述楔形镜的第二表面反射形成第二路反射光,所述第二路反射光通过所述楔形镜的第一表面折射进入所述探测器二;所述去背景单元包括楔形镜二,经过所述楔形镜一的第二表面折射后的激光经过所述去背景单元穿过所述楔形镜二;穿过所述楔形镜二的激光经过所述在线监测单元;所述激光反射单元包括楔形镜三和角反射镜,经过所述在线监测单元的激光穿过所述楔形镜三后入射到所述角反射镜,被所述角反射镜反射的激光依次穿过所述楔形镜三、所述楔形镜二和所述楔形镜一进入所述探测器三。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:应刚,王立峰,黄冲,方卫龙,刘海红,吴升海,
申请(专利权)人:江苏天瑞仪器股份有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。