下载一种铁电存储器的技术资料

文档序号:9992076

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本发明公开了一种铁电存储器的铁电薄膜电容,包括:基底层1,上电极层2、上电极缓冲层3、铁电薄膜层4、下电极缓冲层5、下电极层6、粘结层7和阻挡层8。其中多取代基的硅杂环己二烯掺杂到铅锆钛薄膜层中,形成铁电薄膜层4。...
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