下载一种凸透镜型波纹式太阳能电池硅基片及其制造工艺的技术资料

文档序号:9992024

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本发明公开了一种凸透镜型波纹式太阳能电池硅基片及其制造工艺,太阳能电池硅基片包括单晶硅基底片本体,所述硅基片本体表面为凸透镜型波纹式非平面结构,呈条状顺序排列。它的制造工艺为:利用低压化学气相淀积法淀积非晶硅掩蔽层和化学腐蚀形成表面形貌。本...
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