下载一种偏振态控制的多模干涉型光开关及其制备方法的技术资料

文档序号:9990456

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本发明公开了一种偏振态控制的多模干涉型光开关,包括平面光波光路芯片、光源、偏振控制器和输入光纤阵列,平面光波光路芯片包括硅衬底、二氧化硅缓冲层、波导和覆盖层,二氧化硅缓冲层中设有裂纹,波导包括输入级单模波导,中间级多模波导,输出级单模波导;...
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