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一种用于固体表面剥蚀的针尖放电装置制造方法及图纸
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下载一种用于固体表面剥蚀的针尖放电装置的技术资料
文档序号:9989986
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一种用于固体表面剥蚀的针尖放电装置,属于固体样品中元素分析技术领域。包括高压电源、针体支撑台、针体、样品台、腔体和工作气体;高压电源的电极分别接针体和样品台,针体支撑台设于腔体上部且与腔体密封连接,样品台设于腔体下部且与腔体密封连接,针体穿...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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