温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种微流量热式质量流量控制器的校准装置及其校准方法。其中，微流量热式质量流量控制器的校准装置包括参考室和定容室，以及连接在定容室和参考室之间的第一隔离阀和压差计。采用本发明的微流量热式质量流量控制器的校准装置及其校准方法，可以校准...
该专利属于兰州空间技术物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过兰州空间技术物理研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。