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一种高纯度大尺寸碳化硅单晶及其制备工艺制造技术
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文档序号:9987468
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本发明公开了一种高纯度大尺寸碳化硅单晶及其制备工艺,属于材料科学与技术领域。本发明是以高纯SiC粉为原料,按照最大密度堆积原则,使不同粒径SiC粉料达到合理的颗粒级配,得到最大的装料密度;然后装入超高功率的立式电弧炉中,在高温、高压下进行静...
该专利属于汪长安所有,仅供学习研究参考,未经过汪长安授权不得商用。
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