下载半导体装置的制造方法、块状层叠体和依次层叠体的技术资料

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由本发明提供能够提高生产率和可靠性的半导体装置的制造方法。本发明的半导体装置(1)的制造方法包括依次层叠工序、得到单个层叠体的工序和基材接合工序。在依次层叠工序中,得到块状层叠体。该块状层叠体是排列有多个半导体部件的半导体块(10B、12B...
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