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本实用新型提出了一种碳化硅外延生长装置，该装置为圆柱形，其反应腔由内至外依次设置石墨支撑层、石墨软毡、石英壁和加热线圈，并排设置的L型补气管平行于圆柱形的轴向通过石墨软毡并垂直通过石墨支撑层且正对石墨支撑层中部，补气管进气端装有气体流量计。...
该专利属于国家电网公司;国网智能电网研究院所有，仅供学习研究参考，未经过国家电网公司;国网智能电网研究院授权不得商用。

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