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一种光刻机投影物镜奇像差原位检测方法，本发明通过处理检测标记空间像在不同对称位置的光强差值，确定最佳测量位置，获得与其对应的最佳灵敏度矩阵。本发明利用检测标记空间像在最佳测量位置的光强差与投影物镜奇像差间的线性关系，提高像差的检测精度。...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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