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基于MEMS结构的自保护微波均衡器制造技术
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下载基于MEMS结构的自保护微波均衡器的技术资料
文档序号:9956659
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本发明公开了一种基于MEMS结构的自保护微波均衡器,包括衬底、设置在衬底上的共面波导传输线、悬臂梁锚区、悬臂梁、第一吸收电阻、第二吸收电阻、第一传输线枝节、第二传输线枝节,共面波导传输线由共面波导信号线和关于共面波导信号线对称设置的第一共面...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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