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本发明提供了一种有机材料真空蒸镀设备，包括真空蒸镀室和自动控制系统。在本发明提供的真空蒸镀设备中，各模块通过收集真空蒸镀室内各项参数信号，并将各项参数信号发送给控制总机，所述控制总机根据预设的各项参数对收到的各项参数信号进行处理得到反馈信号...
该专利属于中国科学院长春应用化学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春应用化学研究所授权不得商用。

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