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本发明提供一种位置检测装置，具备从相对于受检面倾斜方向向受检面上投射光束的投射系统、接收由受检面反射的光束的受光系统，及基于利用受光系统的光束的受光结果，检测出关于与上述受检面交差的方向的受检面的位置的检测部。该位置检测装置还包括：配置在投...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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