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在一个实施例中，一种打开到空腔的通道的方法包括：提供供体部分；邻近于所述供体部分形成加热元件；形成抵靠所述供体部分的第一牺牲板块，其中，所述供体部分和所述牺牲板块是可收缩对；形成第一空腔，所述第一空腔的一部分以第一牺牲板块为界；通过加热元件...
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