下载固晶机检测机构的技术资料

文档序号:9922669

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本实用新型适用于半导体固晶技术领域。本实用新型固晶机检测机构,包括设于机架的平移电机,该平移电机转轴与旋转焊臂连接座连接,在旋转焊臂连接座上设有四个焊臂,每个焊臂上设有晶圆吸嘴,在旋转焊臂连接座下方且位于晶圆吸嘴的正下方设有反光镜,该反光镜...
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