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本实用新型提出了一种气体供应装置，用于向需求设备提供气体，包括：供应设备，连接供应设备和需求设备的供气管路，设置在供气管路上的气动阀，与气动阀通过第二驱动气管相连的电磁阀组，与电磁阀组相连的第一驱动气管，与电磁阀组信号相连的控制单元以及设置...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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