下载多晶硅铸锭炉的技术资料

文档序号:9917662

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本实用新型公开了一种能够使铸锭的电阻率均匀分布的多晶硅铸锭炉。该多晶硅铸锭炉的进气管的出气口延伸至靠近坩埚内壁的位置并且从出气口喷出的气流的中心轴线与坩埚的中心轴线之间的夹角为20℃~30℃,当氩气从进气管的出气口喷出时是斜向下喷向硅液表面...
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