下载一种多晶硅铸锭装置的技术资料

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本实用新型公开了一种能够达到快速高效监测目的的多晶硅铸锭装置。该多晶硅铸锭装置包括炉体,所述炉体内设置有下托保温板与保温罩,保温罩与下托保温板共同构成保温隔热笼,所述保温罩上连接有升降杆,所述保温隔热笼内设置有坩埚、坩埚护板、石墨底板、石墨...
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