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本实用新型公开了硅片清洗机漏水管防堵装置，包括清洗机水槽内的漏水管，所述漏水管的上端口上设有过滤盖，所述过滤盖上密布有网状通孔，所述通孔的孔径由内向外逐渐缩小。本实用新型在漏水管上设过滤盖，形成一个保护防堵的装置，能够有效防止硅片的碎片落入...
该专利属于江苏晶鼎电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏晶鼎电子材料有限公司授权不得商用。

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