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反向散射检查系统的实施例包括实现不规则表面、紧凑间隔或其他难以到达的地点的检查的特征。一些实施例包括使用至少三个自由度操作扫描头的臂部，且一些实施例包括使用至少七个自由度操作扫描头的臂部。一些实施例包括扫描头或基底上的接近检测器，检测与被检...
该专利属于美国科技工程公司所有，仅供学习研究参考，未经过美国科技工程公司授权不得商用。

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