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本发明涉及一种立式热处理设备恒温区测量热偶定位装置，用于辅助将具有石英保护套的恒温区测量热偶从反应腔室底部工艺门的测量孔中垂直插入，其包括导向空心圆柱和导向空心圆柱座体；导向空心圆柱的内环直径大于石英保护套的外径，其高度小于恒温区测量热偶的...
该专利属于北京七星华创电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京七星华创电子股份有限公司授权不得商用。

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