下载氧化物薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板及显示装置的技术资料

文档序号:9900168

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本发明提供一种氧化物薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板及显示装置,属于薄膜晶体管制造技术领域,其可解决现有的氧化物薄膜晶体管由于源、漏极材料中的金属原子与氧化物半导体有源层中的氧离子结合导致氧化物薄膜晶体管的稳定性差的问题。本发明的氧化物薄膜...
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