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粒子供给装置及其控制方法和速度决定信息的获取方法制造方法及图纸
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文档序号:9897473
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本发明提供粒子供给装置及其控制方法和速度决定信息的获取方法。在吸收片制造装置(1)中,包含分别与多个目标粒子密度相对应的第1片部件(91)的输送速度和供给缸(21)的旋转速度之间的多个关系在内的速度决定信息被存储于存储部(72)。然后,基于...
该专利属于利卫多株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过利卫多株式会社授权不得商用。
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