下载一种薄膜晶体管的制备方法、薄膜晶体管及显示面板的技术资料

文档序号:9893349

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本发明实施例提供了一种薄膜晶体管的制备方法、薄膜晶体管及显示面板,属于液晶显示领域,以提高多晶硅内载流子的迁移率。所述薄膜晶体管的制备方法,包括:M1:在基板上沉积诱导层;M2:通过刻蚀工艺,在所述诱导层中刻蚀出凹部,所述凹部边缘具有规定的...
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