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一种单片微瓦斯传感器制造技术
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下载一种单片微瓦斯传感器的技术资料
文档序号:9891029
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一种单片微瓦斯传感器,传感器的加热元件和测温元件通过固定端固定在硅框架支座上,在加热元件上设有催化剂载体,加热元件和测温元件是相互独立的,加热元件、测温元件不存在电气连接;采用加热元件单独加热催化剂载体,测温元件单独检测因瓦斯催化燃烧形成的...
该专利属于中国矿业大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国矿业大学授权不得商用。
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