下载直动装置的技术资料

文档序号:9882529

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提供一种直动装置,其能够极力抑制在滚动体滚动通道和滚动体之间产生的微粒向装置外流漏出的量,正好适合半导体制造装置或液晶显示面板制造装置等的清洁环境。在直动装置(1)中,一对密封部件(7)分别形成为这样的形状:在安装于移动部件(3)的状态下,...
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