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差分式力平衡加速度传感器制造技术
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下载差分式力平衡加速度传感器的技术资料
文档序号:9875701
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本实用新型涉及一种差分式力平衡加速度传感器,尤其是涉及一种用于中、低频振动加速度测量的加速度传感器。本实用新型是通过如下技术方案来实现的:一种差分式力平衡加速度传感器,其特征在于:其特征在于包括电路部分和机械底座部分,所描述电路部分有RC桥...
该专利属于中国地震局地球物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国地震局地球物理研究所授权不得商用。
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