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二维加速度微传感器制造技术
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文档序号:9874600
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本实用新型公开了一种二维加速度微传感器,它包括支撑壁和十字活动极板,所述的十字活动极板的四端上均固定有弹性梁,所述的支撑壁的对应两边上均固定有两个电容极板,所述的电容极板位于两个垂直面上,四个电容极板分别位于十字活动极板与支撑壁所围成的区域...
该专利属于成都市宏山科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都市宏山科技有限公司授权不得商用。
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