下载一种薄膜晶体管、其制作方法、阵列基板及显示装置的技术资料

文档序号:9873491

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本发明公开了一种薄膜晶体管、其制作方法、阵列基板及显示装置,将薄膜晶体管的栅极、栅绝缘部件、有源部件和源漏极沿平行于衬底基板的水平方向设置在衬底基板上,而现有的薄膜晶体管是在衬底基板上依次层叠设置栅极、栅绝缘层、有源层和源漏极,本发明实施例...
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