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一种超精扫描镀膜及定位光刻设备，属于高精度自动化刻蚀设备技术领域，其包括减振平台、高精运动平台、化学涂胶或光刻处理盒、冷却设备及空压过滤设备集成体和CNC数控装置。减振平台消除了设备固有的振动频率并隔绝环境的影响；高精运动平台采用大推力直线...
该专利属于嘉兴华嶺机电设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴华嶺机电设备有限公司授权不得商用。

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