下载一种微纳结构的超声波封接装置及其封接方法的技术资料

文档序号:9868386

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种微纳结构的超声波封接装置及其封接方法,所述的装置包括超声波发生器、功率调节器、在线超声检测模块、信号处理模块、超声换能器、超声波工具头、运动控制组件、辅助传感组件、调平基座和控制系统;辅助传感组件包括称重传感器和位移传感器,...
该专利属于大连交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连交通大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。