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一种微纳结构的超声波封接装置及其封接方法制造方法及图纸
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下载一种微纳结构的超声波封接装置及其封接方法的技术资料
文档序号:9868386
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本发明公开了一种微纳结构的超声波封接装置及其封接方法,所述的装置包括超声波发生器、功率调节器、在线超声检测模块、信号处理模块、超声换能器、超声波工具头、运动控制组件、辅助传感组件、调平基座和控制系统;辅助传感组件包括称重传感器和位移传感器,...
该专利属于大连交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连交通大学授权不得商用。
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