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一种多层金属图形化工艺中的湿法腐蚀方法，利用冰乙酸(CH3COOH)、硝酸(HNO3)和水的混合液对Ag和Ni进行腐蚀，利用稀氢氟酸对Ti进行腐蚀，利用Al腐蚀液对Al进行腐蚀，最后利用APM溶液对TiN和Ti进行腐蚀。本发明只需要一次光刻...
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