下载一种掩埋PN结势垒肖特基二极管的技术资料

文档序号:9865042

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本发明公开一种掩埋PN结势垒肖特基二极管,其通过在原有硅外延层的上方增设一层附加硅外延层,这样有多个掩埋体掩埋在附加外延表面以下,形成多个隔离的PN结,在反向电压的情况下,这些PN结形成的空泛层会防护肖特基势垒介面而减低反向电压的电场影响,...
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