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本实用新型公开了一种用于制备三氯氢硅的设备，该设备包括：用于使硅粉、氢气以及选自氯化氢与四氯化硅的至少一种发生氯氢化合成反应，以便获得包含三氯氢硅的氯氢化合成反应产物的氯氢化合成反应装置；以及用于对所述包含三氯氢硅的氯氢化合成反应产物进行第...
该专利属于中国恩菲工程技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。

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