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本发明提供了一种能实现批量、稳定、高效制备微纳热电偶探针前体的批量制备装置，包括探针、电极、探针升降滑块、探针升降导轨模组、模块转移工作台、模块转移滑台、模块转移导轨模组、电化学腐蚀模块、清洗模块、烘干模块、绝缘层包覆模块和主控制模块。本发...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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