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本发明描述一种用于半导体线锯装置的线弯曲监控系统。线弯曲监控系统包括传感器布置，所述传感器布置经配置以邻近于线锯装置的线定位，其中传感器布置适合检测线的弯曲，其中传感器布置包括感应传感器、电容传感器和接触传感器中的至少一个。...
该专利属于应用材料瑞士有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料瑞士有限责任公司授权不得商用。

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