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一种等离子加工高密度氧化铝的装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:9858182
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一种等离子加工高密度氧化铝的装置及方法,属于蓝宝石晶体用高密度氧化铝技术领域。其特征在于:本发明在加料漏斗下方设有射频等离子发生器(8)、等离子火炬(10),等离子火炬(10)外绕有高频感应线圈(7),等离子火炬(10)的下方有接料用的沉积...
该专利属于山东晶鑫晶体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东晶鑫晶体科技有限公司授权不得商用。
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