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一种基于MEMS双加热器的热导率和热扩散系数传感器，包括基底，加热器设置在基底的上表面中央，焊盘位于基底上表面加热器的旁边，和加热器连接，绝缘层薄膜覆盖在加热器、焊盘和基底之上，绝缘层薄膜上设置有腔壁，腔壁和绝缘层薄膜形成空腔结构中装有被测...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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