下载INGAAS光电二极管阵列的技术资料

文档序号:9850089

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本发明涉及InGaAs光电二极管阵列(101)并且涉及用于制造InGaAs光电二极管阵列(101)的方法,其中所述阵列包括:阴极,所述阴极包括至少一个磷化铟衬底层(4)和有源铟镓砷化物层(5);以及多个阳极(3),所述多个阳极(3)通过扩散...
该专利属于新成像技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过新成像技术公司授权不得商用。

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