下载一种高精度气体定量定压供应装置的技术资料

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本发明涉及一种高精度气体定量定压供应装置,属于测试与控制领域,该装置包括高精度可调压无油空气压缩机、节流阀、压力计、气体质量流量计和控制器,控制器利用压力计采集到的气体压力信号反馈控制空气压缩机的启停,来实现输出气体压力的控制,利用气体质量...
该专利属于北京航天时代光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京航天时代光电科技有限公司授权不得商用。

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